潔凈區
空氣懸浮粒子濃度
受控的限定空間
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光學電子凈化工程
光學電子凈化工程是將一定范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而設計出的密閉空間。光學電子凈化工程已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等行業不可或缺的主要設施。
系統組成
-
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潔凈輔助區凈化用房
物料凈化室
部分生活用房 -
管理區辦公、值班
及管理用房 -
設備區凈化空調設備
電氣設備
冷熱設備和高純水
高純氣管道設備
等級標準
潔凈室(區)空氣潔凈級別表
| 潔凈室級別 |
塵粒最大允許數/立方米 ≧0.5μm塵粒數 |
≧0.5μm塵粒數 |
微生物最大允許數 （浮游菌/立方米） |
沉降菌/皿 |
| 100級 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
| 1000級 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
| 10000級 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
| 30000級 | 10500000 | 60000 | 1000 | 15 |
光學微電子凈化工程換氣參數
| 換氣次數 |
100000級≧15次 10000級≧20次 1000級≧30次 |
壓差 | 主車間對相鄰房間≧5pa |
| 平均風速 | 10級、100級 0.3~0.5m/s | 溫濕度 |
冬季﹥16℃ 夏季﹤26℃波動±2℃ 濕度45~65% GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜 電子車間濕度略高以免產生靜電 |
| 噪音 | ≦65db(A) | ||
| 新風補充量 | 新風補充量是總風量的10%~30% | ||
| 照度 | 300LX |
